Axcelis碳化硅设备出货“加速”
材料来源：NE时代半导体
近日，半导体离子注入厂商Axcelis宣布向全球领先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商交付多批Purion Power系统离子注入器系统。这些设备包括Purion H200 SiC大电流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中电流注入机，且均在第一季度发货。
据悉，这些6英寸（150mm）和8英寸（200mm）设备将用于支持汽车、工业、能源和其他电力密集型应用的功率器件的大批量生产。
Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low评论道：“我们将不断获取新客户，并扩大我们在全球现有客户的足迹。Purion Power 系列因其高度差异化的特性和工艺控制能力成为功率器件应用的市场领导者。Axcelis是唯一一家能够为所有功率器件应用提供完整配方覆盖的离子注入公司。”
值得一提的是，此前Axcelis还宣布了两则订单交付消息，客户包括中国、日本等地的功率器件制造商：
◎Axcelis宣布向日本领先的功率器件芯片制造商发货Purion EXE™ SiC 高能离子注入机，并完成了Purion H200™ SiC 离子注入机的评估闭合，将用于150mm和200mm碳化硅功率器件的生产。
◎Axcelis 宣布向中国多家领先的功率器件芯片制造商批量发货 Purion M™ SiC 中电流离子注入机。预计于第一季度发货，将用于 150mm 碳化硅功率器件的生产。
2023 年全年，Axcelis实现营业收入 11.3 亿美元，与 2022 年全年的 9.2 亿美元相比，增长了 23%，创历史新高。
得益于技术优势，SiC设备拉动Axcelis营收。2023年，SiC设备业务营收占Axcelis总营收的34%，成为其业绩重要组成部分和增长动力。
展望 2024 年，Axcelis将继续投资研发，同时控制支出，为 2025 年实现 13 亿美元的收入模式做好准备。
■ Purion EXE SiC Power Series™ 200mm 高能注入机
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