自imec官网获悉,2月9日,比利时半导体研究机构imec宣布,由其牵头建设的后2nm先进制程中试线NanoIC正式启用。
据悉,该项目总投资达25亿欧元(现汇率约合206亿元人民币),其中欧盟拨款7亿欧元,各国及地区政府投资7亿欧元,ASML等行业合作伙伴共同注资剩余的11亿欧元。
NanoIC专注于2nm以下工艺的芯片设计与制造,配备了来自ASML的High-NA EUV光刻机,旨在弥合实验室与商业晶圆厂间的鸿沟。Imec的研究人员将在此与集成器件制造商、代工厂、设备和材料供应商、系统公司、初创企业、大学以及欧洲其他研究技术组织并肩工作。
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