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华芯晶电获批化合物半导体单晶衬底制备技术山东省工程研究中心
2025/8/21 9:53:15
近日，山东省发改委发布2025年新认定山东省工程研究中心名单。青岛华芯晶电科技有限公司（以下简称“华芯晶电”）牵头申报的“化合物半导体单晶衬底制备技术山东省工程研究中心”成功入选。这一突破性成果，是对华芯晶电在化合物半导体衬底材料研发与制造领域科研实力与创新潜力的高度认可。
该中心聚焦半导体上游关键基础材料自主可控，以服务国家和省市重大战略任务、支撑保障青岛市新一代信息技术等创新型产业体系重大工程实施为目标，通过产学研结合开展协同攻关，努力推进人才集聚与培养，强化行业关键共性技术供给，加快科技成果转化服务于地方经济高质量发展，助力青岛市创新驱动发展战略实施，推动半导体材料科技创新与产业创新深度融合。
该中心由华芯晶电与同济大学联合共建，现有固定研发人员150人，通过自主开发、产学研合作、企业间技术合作等方式，已开展技术研发项目70余项，其中省级以上在研项目30余项，获得专利200余项，参与国家标准制定3项，获得20余项荣誉奖项。
据悉，该中心拟攻克一批制约产业向高端化转型的关键核心技术，与国内高校和科研院所开展多维度产学研合作，充分利用国内丰富应用场景，将先进技术成果在更多战略性新兴产业领域应用，同时瞄准国家未来产业重点领域，超前布局技术创新方向并开展相应研究工作。在高品质超宽禁带氧化镓单晶衬底的技术研究及产业化方面，一是基于导模法高效率生长大尺寸且低缺陷密度的高质量氧化镓单晶，二是面向大功率、高耐压器件应用需求的氧化镓衬底加工研究技术。在大尺寸、低成本磷化铟衬底的技术研发及产业化方面，一是重点进行大直径磷化铟单晶生长热场设计和调控技术研究，二是掌握大尺寸磷化铟晶体单晶良率提升和低位错控制关键技术。
华芯晶电于2011年在青岛高新区成立，专注于从事磷化铟（InP）、氧化镓（β-Ga2O3）等化合物半导体晶体生长及衬底材料的研发、制造和销售，是国内最早进行半导体化合物研究生产的企业之一，产品广泛应用于集成电路、人工智能、新型显示、新能源等领域，改变了国内半导体衬底晶片高端产品完全依赖进口的局面，已成为国内化合物半导体研发制造和硬脆材料加工领域的科技领军企业。
基于战略规划和既定目标，华芯晶电将依托省工程研究中心，积极发挥行业引领和主导作用，加强半导体产业链供应链上下游企业间的协同合作和相互支撑，研发并不断优化新型化合物半导体衬底材料，通过中试工艺优化及下游应用验证，实现先进产品产业化制备和规�；τ�，提高产业链供应链整体创新能力和竞争优势，保障我国半导体行业关键材料安全自主可控。
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