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布里斯托尔大学安装氧化镓MOCVD系统
2022/5/16 7:49:10 材料来源：化合物半导体
该团队预计在未来几个月内将制备出第一批Ga2O3器件
布里斯托尔大学（Bristol University）的科学家刚刚安装了英国有史以来第一台用于制造Ga2O3的MOCVD设备，Ga2O3是一种化合物半导体材料，可以帮助将集装箱大小的电力变压器缩小到行李箱大小。
项目负责人、物理学教授和皇家工程学院新兴技术主席Martin Kuball说：“这是一个非常令人兴奋和迫切的机会。随着在紧迫的气候�；型瞥龈咝У牡缌Φ缱硬泛拖冉目稍偕际�，将为更可持续和更廉价的未来能源供应提供一个改变游戏规则的方案。
“目前将近四分之三（72%）全球一次能源消耗的大部分被浪费了。虽然大多数低碳技术仍然依赖于硅基电子器件，但我们正慢慢开始看到这种技术被GaN和SiC制成的半导体器件所取代。随着减少碳足迹行动的加快，我们必须更加专注于开发基于Ga2O3的器件，我们致力于以规模和速度推进这项工作。”
由20名研究人员组成的团队正在与包括日本、美国和德国在内的全球其他组织以及Dynex Semiconductors等行业合作伙伴合作。由英国皇家工程学院（Royal Academy of Engineering）提供部分资金的Ga2O3 MOCVD系统，是美国Agnitron Technology在欧洲推出的第一款此类系统。
“MOCVD系统将用于在一个含有高纯度气体的腔内生长出比人的头发细得多的Ga2O和铝镓氧化物薄膜。然后这些薄膜在我们的洁净室，即几乎无尘的区域，沉积金属和其他层，有效地实现电接触，以生产出功率电子器件产品。 这些器件甚至比目前的GaN和SiC器件更节能，”Kuball解释道。
“我们将在本月启动这台机器，并计划在未来几个月内生产第一批基于Ga2O的器件，使我们在未来制造节能功率器件方面处于最前沿。”
Kuball说：“我们在街道上常见的功率转换装置都有集装箱大小。将这项技术提升到一个新的水平可以将它们缩小到仅有行李箱大小。然后你可以建立分布式电力网络或智能电网，因为紧凑的装置可以使更多的转换装置广泛分布。这将降低大部分地区停电的风险，就像现在因为一根电线断了的情况一样�；贕a2O3的技术具有巨大的优势。我们现在比以往任何时候都更需要发展和完善工艺，以充分实现这一优势。”
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