¿í½û´ø²ÄÁÏʵÏÖÁ˽ϵ±Ç°¹è»ù¼¼ÊõµÄ·ÉÔ¾¡£ ËüÃǵĴó´øÏ¶µ¼Ö½ϸߵĽéµç»÷´©£¬´Ó¶ø½µµÍÁ˵¼Í¨µç×è(RSP)¡£ ¸ü¸ßµÄµç×Ó±¥ºÍËÙ¶ÈÖ§³Ö¸ßƵÉè¼ÆºÍ¹¤×÷£¬½µµÍµÄ©µçÁ÷ºÍ¸üºÃµÄµ¼ÈÈÐÔÓÐÖúÓÚ¸ßÎÂÏµĹ¤×÷¡£
°²ÉÃÀ°ëµ¼ÌåÌá¹©Î§ÈÆ¿í½û´ø·½°¸µÄ¶ÀÒ»ÎÞ¶þµÄÉú̬ϵͳ£¬°üº¬´ÓÖ¼ÔÚÌá¸ßÇ¿¹ÌÐÔºÍËٶȵÄ̼»¯¹è(SiC)¶þ¼«¹Ü¡¢SiC MOSFETµ½ SiC MOSFETµÄ¸ß¶ËICÃż«Çý¶¯Æ÷¡£ ³ýÁËÓ²¼þÒÔÍ⣬ÎÒÃÇ»¹ÌṩspiceÎïÀíÄ£ÐÍ£¬°ïÖúÉè¼ÆÈËÔ±ÔÚ·ÂÕæÖÐʵÏÖÆäÓ¦ÓÃÐÔÄÜ£¬Ëõ¶Ì°º¹óµÄ²âÊÔÖÜÆÚ¡£
ÎÒÃǵÄÔ¤²âÐÔÀëÉ¢½¨Ä£¿ÉÒÔ½øÐÐϵͳ¼¶·ÂÕæ£¬ÆäÖпÉÒÔÕë¶Ôϵͳ¼¶ÐÔÄÜÖ¸±ê£¨ÀýÈçЧÂÊ£©½øÐÐÓÅ»¯£¬¶ø²»¾ÖÏÞÓÚÓÅ»¯ÔªÆ÷¼þ¼¶ÐÔÄÜÖ¸±ê£¬ÀýÈçRDS£¨on£©¡£ ´ËÍ⣬Éè¼ÆÈËÔ±¿ÉÒÔ·ÅÐĵØÄ£ÄâÊý¾Ý±íÖÐδº¸ÇµÄ¹¤×÷Ìõ¼þ£¬ÀýÈ翪¹ØÓ¦Óõı仯ζȡ¢×ÜÏßµçѹ¡¢¸ºÔصçÁ÷ºÍÊäÈëÃż«µç×è¡£
ΪÂú×ãÕâЩÐèÇó£¬Ä£ÐͱØÐëÊÇ»ùÓÚÎïÀí¹æÂɵġ¢Ö±¹ÛµÄ¡¢¿ÉÔ¤²âµÄ£¬×îÖØÒªµÄÊǾ«È·µÄ¡£
ÔÚICÐÐÒµÖУ¬×·Ëݵ½¼¸Ê®Äêǰ£¬²ÉÓÃSPICEÄ£Ð͵ÄÖ§³ÖCADÉè¼ÆµÄ»·¾³¶ÔÓÚICÉè¼ÆÈËԱ׼ȷԤ²âµç·ÐÔÄÜÖÁ¹ØÖØÒª¡£ ͨ¹ýÊ×´ÎÕýÈ·Éè¼ÆËõ¶ÌÉú²úÖÜÆÚ¡£ Æù½ñΪֹ£¬ÓÉÓÚȱ·¦¿É¿¿µÄSPICEÄ£ÐÍ£¬µçÁ¦µç×ÓCAD»·¾³Ô¶Ô¶ÂäºóÓÚICÐÐÒµ¡£ µçÁ¦µç×ÓÆ÷¼þÄ£ÐÍ»ùÓÚ¼òµ¥µÄ×ӵ緺͸´ÔӵķÇÎïÀíÐÐΪģÐÍ¡£·ÂÕæ×îÖÕ²»¿É¿¿¡£
ͼ1
¼òµ¥µÄ×ӵ緹ýÓÚ»ù´¡¼òµ¥£¬²»×ãÒÔ³ä·ÖÀûÓÃËùÓÐÆ÷¼þÐÔÄÜ¡£ ÔÚͼ1ÖУ¬ÎÒÃÇÏÔʾÁËÒ»¸öCRSSͼ£¬½«µäÐ͵ļòµ¥Ä£ÐÍ£¨À¶É«£©Óë¸üÏȽøµÄÎïÀíÄ£ÐÍ£¨ÂÌÉ«£©ºÍ²âÁ¿Êý¾Ý£¨ºìÉ«£©½øÐÐÁ˱Ƚϡ£ ÏÔÈ»£¬Äú¿ÉÒÔ¿´µ½¼òµ¥Ä£ÐÍÎÞ·¨²¶»ñ·ÇÏßÐÔµçÈÝЧӦ£¬×îÖÕµ¼Ö²»×¼È·µÄ¶¯Ì¬¿ª¹Ø·ÂÕæ¡£
ÖÚËùÖÜÖª£¬¸ü׼ȷ¡¢¸ü¸´ÔÓµÄÐÐΪģÐͻᵼÖÂÊÕÁ²ÎÊÌâ¡£ ´ËÍ⣬´ËÀàÄ£ÐÍͨ³£ÒÔרÓеķÂÕæÆ÷ÐÐΪÓïÑÔ£¨ÀýÈçMAST™£©±àд£¬Òò´ËÎÞ·¨¿ç¶à¸ö·ÂÕæÆ÷ƽ̨¡£
ͨ³££¬µçÁ¦µç×ÓÄ£ÐͼȲ»ÊÇ»ùÓÚ¹¤ÒÕ¼¼ÊõºÍ²¼¾ÖµÄ£¬Ò²²»¾ßÓÐÐ¾Æ¬Æ½Ãæ²¼¾ÖµÄ¿ÉÀ©Õ¹ÐÔ¡£
ÎÒÃÇÒÔÎïÀí¿ÉÀ©Õ¹Ä£ÐÍ¿ª·¢ÁËÒ»¸öÊÊÓÃÓÚÕû¸ö¼¼Êõƽ̨µÄÄ£ÐÍ¡£ Õâ¾ÍÊÇ˵£¬Ëü²»Êǰüº¬¾ÑéÄâºÏ²ÎÊýµÄµ¥¸öÄ£Ð͵Ŀ⣬×îÖÕÇúÏßÊʺÏËùÓвúÆ·¡£Ö»ÐèÊäÈë¸ø¶¨²úÆ·µÄÐ¾Æ¬Æ½Ãæ²¼¾Ö²ÎÊý£¬Í¨¹ýоƬÀ©Õ¹£¬ÎÒÃǾͿÉÒÔʹ¼¼ÊõѸËÙ·¢Õ¹¡£
ÔÚÏÂÒ»¼¶Ë®Æ½£¬Ä£ÐÍÖлùÓÚÎïÀíѧµÄ¹¤ÒÕÒÀÀµÐÔʹÎÒÃÇÄܹ»Ô¤²âеÄÐéÄâ¼¼Êõ±ä»¯´øÀ´µÄÓ°Ïì¡£ ÏÔÈ»£¬ÔçÆÚÉè¼ÆÓÐÖúÓÚ´ÓÓ¦ÓýǶȴø¶¯¼¼ÊõÒªÇ󣬲¢¼Ó¿ì²úÆ·ÉÏÊÐʱ¼ä¡£ Ò»·½Ã棬¹¤ÒÕºÍÆ÷¼þÉè¼Æ¹¤³ÌʦʹÓÃÏÞ¶¨µÄÔªÆ÷¼þ·ÂÕæ£¬Ò²³ÆÎªTCAD¡£ ÁíÒ»·½Ã棬ӦÓúÍϵͳ¼¶Éè¼ÆÈËԱʹÓûùÓÚSPICEµÄ·ÂÕæ»·¾³¡£ »ùÓÚ¹¤ÒÕ²ÎÊýµÄspiceÄ£ÐÍÓÐÖúÓÚÕâÁ½·½ÃæµÄÈںϡ£
ÏÖÔÚ£¬ÎÒÃǽéÉÜÒ»ÏÂ̼»¯¹è¹¦ÂÊMOSFETÄ£Ð͵IJ¿·ÖÌØÐÔ¡£
ͼ2
ͼ3
ͼ2ÏÔʾÁ˵äÐ͵Ä̼»¯¹èMOSFETºá½ØÃ棬ͼ3ÏÔʾÁË×Óµç·ģÐ͵ļò»¯°æ±¾¡£
ÏÖÔÚ½éÉܸÃÄ£Ð͵ÄÒ»Ð©ÔªËØ¡£ Ê×ÏÈ£¬ÎÒÃÇ̸̸¹Ø¼üͨµÀÇøÓò¡£ ÔÚÕâÀÎÒÃÇʹÓÃÖøÃûµÄ²®¿ËÀûBSIM 3v3Ä£ÐÍ¡£ ÎÒÃǶ¼¾¡¿ÉÄܵز»×öÖØ¸´¹¤×÷¡£ ÔÚÕâÖÖÇé¿öÏ£¬ÎÒÃdz¢ÊÔ½¨Ä£MOSFETͨµÀ£¬¸ÃͨµÀ·Ç³£ÊʺÏÓÃBSIMÄ£ÐͽøÐС£ ¸ÃÄ£ÐÍÊÇ»ùÓÚÎïÀíµÄ£¬Í¨¹ýÑÇãÐÖµ¡¢Èõ·´ÑݺÍÇ¿·´ÑÝÀ´×¼È·²¶»ñת»»¡£ ´ËÍ⣬Ëü¾ßÓгöÉ«µÄËٶȺÍÊÕÁ²ÐÔ£¬¿ÉÒԹ㷺ÓÃÓÚ¶à¸ö·ÂÕæÆ½Ì¨¡£
½ÓÏÂÀ´£¬ÎÒÃÇÐèÒª¸²¸ÇÓÉEPIÇøÓòµÄ¶à¾§¹èÖØµþÐγɵÄÃż«ÖÁ©¼«ÁÙ½çµçÈÝCGD¡£ ¸ÃµçÈݱ¾ÖÊÉÏÊǸ߶ȷÇÏßÐԵĽðÊôÑõ»¯Îï°ëµ¼Ì壨MOS£©µçÈÝÆ÷¡£ ¸ÃµçÈÝÆ÷µÄºÄ¾¡ÇøÓɲôÔÓÆÊÃæ¡¢PÚådpwÖ®¼äµÄ¾àÀëÒÔ¼°ÍâÑÓ²ãµÄºñ¶ÈµÈ¹¤ÒÕ²ÎÊý¸´ÔÓµÄÒÀÀµÐÔ¿ØÖÆ¡£SPICEÐÐΪ·½·¨ÊµÊ©Ò»ÖÖ»ùÓÚÎïÀíµÄÄ£ÐÍ£¬²¢½«ËùÓÐÕâЩӰÏ쿼ÂǽøÈ¥¡£
ͼ4
Èçͼ4Ëùʾ£¬´Óºá½ØÃ濪ʼ£¬ÎÒÃÇÏë½éÉÜÐ¾Æ¬Æ½ÃæÍ¼¿ÉÀ©Õ¹ÐÔ±³ºóµÄһЩ¸ÅÄîºÍ½á¹¹¡£»ÒÉ«ÇøÓòÊÇÓÐÔ´Çø¡£ À¶É«ÎÞÔ´ÇøÓëÂãо±ßÔµ(die edges)¡¢Ãż«º¸Å̺ÍÃż«Í¨µÀ(gate runners)Ïà¹Ø¡£ »ùÓÚÎïÀí¼¸ºÎµÄÑÜÉúÈ·¶¨ÁËÎÞÔ´ÇøºÍÓÐÔ´ÇøÖ®¼äµÄ·Ö²¼£¬ÕâÊÇʵÏÖ¿ÉÀ©Õ¹ÐÔËùÐèµÄ¡£ ÎÒÃǷdz£¹Ø×¢ÔÚÓÐÔ´ºÍÎÞÔ´ÇøÖ®¼äµÄ±ß½çÇøÓòÖÐÐγɵļÄÉúµçÈÝ¡£ Ò»µ©¿ªÊ¼ºöÂÔ²¼¾ÖÖеļÄÉúµçÈÝ£¬Äãʲôʱºò²Å»áÍ£Ö¹ÕâÖÖ´íÎóÄØ£¿ ËùÓб»ºöÂԵĵçÈÝ×îÖÕÀÛ»ýÆðÀ´³ÉΪһ¸öÂé·³¡£ ÔÚÕâÖÖÇé¿öÏ£¬¾ÍÎÞ·¨ÊµÏÖÀ©Õ¹¡£ ¶øÎÒÃǵÄÀíÄîÊDz»ºöÂÔÈκεçÈÝÆ÷¡£
̼»¯¹èMOSFETÖ§³Ö·Ç³£¿ìµÄdV / dt£¬´óԼÿÄÉÃë50ÖÁ100·ü£¬¶ødI / dts´óԼÿÄÉÃë3ÖÁ6°²Åà¡£Æ÷¼þ¹ÌÓеÄÃż«µç×èºÜÖØÒª£¬¿ÉÒÔÓÃÀ´¿¹µç´Å¸ÉÈÅ(EMI)¡£ ͼ4ÓұߵÄÉè¼Æ¾ßÓнÏÉÙµÄÃż«Í¨µÀ£¬Òò´ËRG½Ï¸ß£¬ ºÜºÃµØÏÞÖÆÁËÕñÁå¡£ ͼ4×ó±ßµÄÉè¼ÆÓÐÐí¶àÃż«Í¨µÀ£¬Òò´ËRG½ÏµÍ¡£ ×ó±ßµÄÉè¼ÆÊÊÓÃÓÚ¿ìËÙ¿ª¹Ø£¬µ«Ã¿¸öÇøÓòµÄRDSonÒ²½Ï¸ß£¬ÒòΪÃż«Í¨µÀ»áÔÚÓÐÔ´ÇøÇÖÊ´µô¡£
ͼ5
ÏÖÔÚ£¬ÎÒÃÇҪ̸̸ģÐÍÑéÖ¤¡£ ÎÒÃÇÊ×ÏÈÔÚ×ó²àµÄͼ5ÖÐÏÔʾÊä³öµçÁ÷-µçÑ¹ÌØÐÔ¡£¸ÃÄ£ÐÍ׼ȷԤ²âÕû¸öÆ«Ö÷¶Î§£¬°üÀ¨¸ßÃż«´¦µÄÆ¯ÒÆÇøºÍ©¼«Æ«²î¡£ÓÒͼÖеľ«È·µ¼Í¨·ÂÕæÍ»³öÁËÄ£Ð͵ÄÁ¬ÐøÐÔ£¬Õâ¶ÔÓÚÇ¿¹ÌµÄÊÕÁ²ÐÔÄܺÜÖØÒª¡£ ³ýÁËÏßÐÔÒÔÍ⣬ÎÒÃǾ³£²é¿´¶ÔÊý¿Ì¶È£¬ÒÔ·¢ÏÖÒþ²ØµÄ²»×¼È·ºÍ²»Á¬Ðø¡£
ͼ6
ÔÚͼ6ÖУ¬ÎÒÃÇÏÔʾÁËÔÚ¿íζȷ¶Î§Äڵĵ±Ç°µçѹ¡¢RDSonºÍãÐÖµµçѹµÄ½á¹û¡£ SiC MOSFETÆ÷¼þ¾ßÓÐÎȶ¨µÄζÈÐÔÄÜ£¬Òò´Ë·Ç³£ÓÐÎüÒýÁ¦¡£¿íζȷ¶Î§Äڵĸ߾«¶È½¨Ä£Ê¹Éè¼ÆÈËÔ±¿ÉÒÔ³ä·ÖÀûÓÃÕâÖÖÌØÐÔ¡£
ͼ7
Ç°ÃæÎÒÃǽéÉÜÁ˶Ը´ÔÓÆ÷¼þµçÈݵÄÎïÀí½¨Ä£¡£ ͼ7ÏÔʾÁ˽á¹û¡£ÔÚ×ó²à£¬CRSS£¨»òCGD£©·ÂÕæ¸ú×ÙÊý¾ÝÔÚ2¸öÊýÁ¿¼¶ÒÔÉϵĶà´Î±ä»¯£¬½öÔÚ¶ÔÊý¿Ì¶ÈÉϿɼû¡£
ͼ8
¿ª¹Ø½á¹û¾ßÓо«È·½¨Ä£µÄ¹ÌÓеçÈÝºÍÆ÷¼þ²¼¾Ö¼ÄÉúЧӦ£¬Èçͼ8Ëùʾ£¬ÎÞÐè¶îÍâµ÷ÕûÄ£ÐÍ¡£ ÕâÖÖˮƽµÄ±£Õæ¶ÈʹӦÓÃÉè¼ÆÈËÔ±ÓÐÐÅÐľ«È·µØ·ÂÕæÆ÷¼þµç·µÄÏ໥ӰÏ죬ÀýÈçdV / dt¡¢dI / dt¡¢¿ª¹ØËðºÄºÍEMI¡£ Ãż«Çý¶¯Æ÷ºÍµçÔ´»·Â·µÄÏ໥×÷ÓÿÉÒÔ±»¸ü½øÒ»²½µØÑо¿ºÍÓÅ»¯¡£
¶ÔÎÒÃÇÀ´Ëµ£¬Âú×ã¿Í»§¸÷ÖÖ²»Í¬µÄ·ÂÕæÆ½Ì¨ÒªÇó·Ç³£ÖØÒª¡£ Òò´Ë£¬SPICE·½·¨ÖÁ¹ØÖØÒª¡£ SPICE²»¾ÖÏÞÓÚij¸öרÓÃÆ½Ì¨»òϵͳ£¬ÎÒÃǽöʹÓÃÐÐÒµ±ê×¼·ÂÕæÈí¼þÖеÄ×îС¹«·Öĸ½á¹¹£¬´Ó¶ø±ÜÃâÒÀÀµÓÚ·ÂÕæÆ÷µÄרÓз½°¸¡£
°²ÉÃÀ°ëµ¼ÌåÌṩһϵÁÐÏȽøµÄ¿í½û´øÆ÷¼þºÍ·ÂÕæ»·¾³¡£ ÍêÕûµÄ²úÆ·ÕóÈÝÐγÉÒ»¸öÉú̬ϵͳ£¬Ê¹¿Í»§Äܹ»³ä·ÖÀûÓÃеġ¢ÁîÈËÐ˷ܵĿí½û´øÓ¦ÓúÍϵͳ¡£
Çëµã»÷Á´½Ó¹Û¿´¸ÃÊÓÆµ£º
https://www.onsemi.cn/support/design-resources/video/1168949
ÉÏһƪ£ºMicroLED ºÍ MiniLED ×î... | ÏÂһƪ£ºGaN½«ÄÜԴЧÂÊÍÆÉýÖÁÐÂ... |