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Antonio Imbruglia, Mario Saggio, Marco Renna, Emanuele Scrofani
STMicroelectronics: ADG (Automotive and Discrete Group)
R&D Power and Discrete FE&BE Technologies
Stradale Primosole 50, I-95121 CATANIA antonio.imbruglia@st.com
Fabrizio Roccaforte, Patrick Fiorenza
Consiglio Nazionale delle Ricerche – Istituto per la
Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM)
Strada VIII, n.5 Zona Industriale, I-95121 CATANIA
Leoluca Liggio, Salvatore Frisella
Distretto Tecnologico Sicilia Micro e Nano Sistemi scarl Ottava Strada, 5 - Zona industriale – I-95121 CATANIA leoluca.liggio@distrettomicronano.it
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[1] T. Kimoto, J. Cooper, Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Growth, characterization, Devices and Applications, John Wiley & Sons, Singapore Pte. Ltd. (2014)
[2] F. Roccaforte, P. Fiorenza, G. Greco, R. Lo Nigro, F. Giannazzo, A. Patti, M. Saggio, Phys. Status Solidi A 211, No. 9, 2063–2071 (2014)
[3] M. Saggio, A. Guarnera, E. Zanetti, S. Rascunà, A. Frazzetto, D. Salinas, F. Giannazzo, P. Fiorenza, F. Roccaforte, Mat. Sci. Forum 821-823 (2015) pp. 660-666.
[4] F. Roccaforte, P. Fiorenza, G. Greco, R. Lo Nigro, F. Giannazzo, F. Iucolano, M. Saggio, Microelectronic Engineering, 187-188 (2018) 66-77.
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