据天成半导体官微消息,近日,天成半导体宣布继12英寸双突破后,依托自主研发设备成功研制出14英寸碳化硅单晶材料,有效厚度达30㎜,标志着国内企业在碳化硅大尺寸技术赛道上取得关键性突破。
(14英寸碳化硅原生晶锭 图源:天成半导体)
据悉,此次研制出的14英寸碳化硅单晶材料主要应用于碳化硅部件,即以碳化硅及其复合材料为主要材料的设备零部件。
据了解,天成半导体在2025年已掌握12英寸高纯半绝缘和N型单晶生长双成熟工艺,且12英寸N型碳化硅单晶材料晶体有效厚度突破35㎜厚。可满足新能源汽车、AR眼镜(光波导)和AI芯片先进封装(中介层)等领域的迫切需求。
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