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云际芯光珠海首条自主6英寸MEMS芯片生产线建成通线
据云际芯光、珠海金湾官微消息，日前，云际芯光（珠海）微电子有限公司首条自主建设的6英寸MEMS芯片生产基地通线仪式在珠海市金湾区举行。
据悉，云际芯光6英寸MEMS芯片生产线项目位于珠海市金湾区，具备光刻、薄膜、刻蚀、键合、检测等完整工艺环节，可实现MEMS芯片的规�；�，采用�？榛季钟敫咝Ф呱杓�，旨在快速实现工艺导通与稳定量产，为公司SMR滤波器、高基频石英晶振等核心产品提供自主制造能力。
云际芯光董事长王庆初表示，该生产线实现了压电MEMS芯片领域从设计、工艺到规模生产的全链条自主可控，有效填补了珠海特色工艺半导体制造领域的空白，并为珠海集成电路产业注入了坚实力量。此次通线标志着公司已构建设计、工艺到制造的全链条闭环，显著提升市场响应与产品交付能力，为未来快速发展奠定制造基础。王庆初指出，公司将持续加大研发投入，聚焦“传感+通信+频率”三大方向，拓展产品矩阵，推动MEMS芯片在更多新兴领域的创新应用。
据了解，云际芯光自2023年扎根珠海，专注压电MEMS芯片领域，携手天津大学高校构建了研发设计到规模制造的全链条技术体系，其四大产品矩阵，技术指标已对标国际一流。同时，云际芯光拥有完整的自主知识产权，目前已申报专利30余项，并建成涵盖设计、工艺、封装测试的全流程研发体系。
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