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江苏集芯产出首枚8英寸液相法碳化硅单晶
材料来源：徐州日报
据徐州日报报道，近日，江苏集芯先进材料有限公司（以下简称“江苏集芯”）成功出炉首枚8英寸液相法（LPE）高质量碳化硅单晶。经检测，晶体面型、晶型与结晶质量均达到预期目标，标志着江苏集芯在第三代半导体核心材料领域再下一城，也为我国碳化硅产业链的自主可控写下关键一笔。
据悉，江苏集芯仅用半年便完成液相法工艺从6英寸到8英寸的研发跨越。相比PVT，液相法在生产效率、材料利用率、成本控制及大尺寸扩径等方面优势显著，被公认为下一代碳化硅长晶的核心路线。全球范围内，仅极少数顶尖机构曾试制出液相法晶体，真正迈入8英寸级仍属罕见。江苏集芯此次突破为未来低成本、低缺陷、易掺杂的碳化硅晶体生产打通了“快车道”。
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