7月2日,英飞凌在官网宣布,其基于12英寸晶圆的可扩展氮化镓制造技术进展顺利,首批样品将于2025 年第四季度向客户提供。
据了解,英飞凌已能在现有大批量制造基础设施内成功开发12英寸氮化镓功率晶圆技术。英飞凌表示,他们已做好准备,将扩大客户群,进而巩固其市场地位。
据“行家说三代半”此前报道,2024年9月,英飞凌正式发布首款12英寸氮化镓晶圆,具体是在奥地利Villach功率工厂中,成功利用现有的12英寸的硅基半导体生产线,在一条集成试验线上制造出了12英寸氮化镓晶圆,与8英寸晶圆相比,单片晶圆可容纳 2.3 倍的芯片。
英飞凌GaN业务线负责人Johannes Schoiswohl表示:“英飞凌全面扩展的12英寸氮化镓制造能力将使我们能够更快地为客户提供最高价值,同时逐步实现同类硅和氮化镓产品的成本平价。”
据调研发现,目前6英寸仍是氮化镓晶圆厂的主流规格,仅有英诺赛科等少数企业实现了8英寸氮化镓晶圆制造,生产8-12英寸硅基氮化镓晶圆的难点主要为外延缓冲层设计,为了更好地解决晶格失配、热失配和应力问题,通常需要在衬底上沉积很厚的缓冲层,这大大提高了高良率生产的难度和效率。
不过,此前英飞凌已经实现了超薄12英寸硅功率晶圆的突破性进展,厚度为20μm,仅有头发丝的四分之一,是目前最先进的40-60μm晶圆厚度的一半。尽管该技术是应用于硅晶圆,但有很大可能会导入到氮化镓晶圆生产。
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