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Picosun推出PICOSUN ALD的统一控制软件PicoOS
材料来源：semiconductor-today
芬兰埃斯波的Picosun集团是为工业制造领域提供AGILE ALD（原子层沉积）薄膜涂层解决方案的供应商。近日，该公司发布了用于PICOSUN ALD设备的新型全栈操作系统和过程控制软件，PicoOS。
“ PicoOS带领PICOSUN ALD设备控制进入现代化行列，是为处于工业4.0过渡进程中的晶圆厂和工业环境而设计。” Picosun Group首席技术官Jani Kivioja博士说。“PicoOS由数据驱动，为未来生产解决方案实现最佳的工业效率，例如机器学习，人工智能，物联网和其他新的数字发明等。”
PicoOS软件将单个的ALD�？�，晶片处理和传输系统以及仪器控制集合在一个通用的图形HMI（人机界面）上。这样可确保整个PICOSUN ALD集群易操作，同时方便维护和配置。
PicoOS通过SECS / GEM协议，以低至20ms的速度记录操作过程和系统数据，并实时导出数据以进行连续的监控和分析来实现全面的工厂集成。
PicoOS操作系统是由Picosun的内部软件团队为公司的全自动生产ALD系统Morpher和Sprinter开发的，并将会在所有PICOSUN ALD工具平台中实施。
Kivioja补充道：“ PicoOS旨在为客户提供最高级别的控制精度和准确性，最快的服务时间以及最佳的用户体验。整体服务模型的关键就在于对PICOSUN ALD解决方案中所有功能和子组件进行内部控制。”
对于ALD的加工程序，处理作业的创建和存储，PicoOS设置了可配置可扩展的编辑器，并且可以在ALD系统运行期间随时编辑作业或创建新作业。用户使用权限可调节，仪表和互锁功能确保日常操作中的使用安全，系统维护时允许完全访问工具管理。通过软件中内置的特定清理和维护顺序可以加快维护过程。
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