新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800
－具有智能技术(IT)平台的场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)－
日本电子株式会社(JEOL Ltd., TOKYO:6951)（总裁兼首席运营官：Izumi Oi）宣布于2020年5月发布新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800。
开发背景
扫描电子显微镜(SEM)应用于各种领域，例如纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学。随着SEM应用从研发扩展到生产现场的质量控制和产品检验，SEM用户需要更快的高质量数据采集以及简单的组成信息确认和无缝操作。
为了满足这些需求，带有智能技术(IT)平台的JSM-IT800集成了用于从高分辨率成像到快速元素映射的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪，创新的电子光学控制系统“Neo Engine”，以及可与JEOL能量色散X射线光谱仪(EDS) 完全集成的无缝GUI“SEM Center”。JSM-IT800提供两个版本，分别配备不同的物镜：用于通用SEM的混合透镜(HL)和用于增强分辨率观察和各种分析的超级混合透镜(SHL)。
此外，SHL版本还配有新的高位混合检测器(UHD)，可实现更高的信噪比图像。
JSM-IT800还提供新的闪烁体背散射电子检测器(SBED)和多功能背散射电子检测器(VBED)。
特性
1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。在低加速电压下（5 kV时为100 nA）具有足够的探头电流。独特的浸没式肖特基Plus系统可实现从高分辨率成像到快速元素映射、电子背散射衍射(EBSD)分析以及软X射线发射光谱(SXES)的各种应用，而无需更改透镜条件。
2. Neo Engine（新型电子光学引擎）
Neo Engine是一种累积了JEOL多年核心技术的尖端电子光学系统。即使更改观察或分析条件，用户仍可进行稳定观察。其自动化功能的高度可操作性得到了进一步增强。
3. SEM Center / EDS集成
GUI “SEM Center”和JEOL EDS的完全集成可实现无缝、直观的操作。JSM-IT800可以通过添加可选软件扩展进行增强，例如帮助新手用户使用的SMILENAVI，以及用于获得更高质量实时图像的LIVE-AI滤镜(Live Image Visual Enhancer – AI)。
4. 混合镜头(HL)版本和超级混合镜头(SHL)版本
基于静电场和电磁场透镜的组合，JSM-IT800提供两种类型的物镜以满足用户的各种需求，以实现高空间分辨率成像，和从磁性材料到绝缘体的各种样品分析功能。
5. 高位混合检测器(UHD)
SHL版本的物镜中内置的UHD可极大地提高检测效率，能获得具有更高信噪比的图像。
6. 新型背散射电子检测器
闪烁体背散射电子检测器（SBED，可�。┚哂懈呦煊Χ�，适合在低加速电压下获取与材料形成对比的图像。具有分段检测器元件设计的多功能背散射电子检测器（VBED，可�。┰市碛没а≡衽渲玫ジ龆位蚴褂迷け喑痰募觳馄魃柚美椿袢【哂腥⒕植炕虺煞中畔⒌耐枷�。
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